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所謂靜電,是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負<一)電荷等量的均勻的電中性狀態(tài),而使電荷過(guò)剩,物體呈帶電狀態(tài),由于這些電荷平時(shí)是不流動(dòng)的,故稱(chēng)靜電。
在潔凈室內靜電導致的事故有以下幾方面;
1.靜電電引起的靜電電擊,引起人的不安全和恐懼感,并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒,由摔倒又致傷);
2.靜電放電引起的放電電流,可導致諸如半導體元件等破壞和誤動(dòng)作,例如將50塊P- MOS電路放在塑料袋內,搖晃數次后,與非門(mén)柵極嚴重擊穿者計39塊,失效率競達78%,這是因為半導體器件對靜電放電十分靈敏;
3.靜電放電產(chǎn)生的電磁波可導致電子儀器和裝置的雜音和誤動(dòng)作;
4.靜電放電的發(fā)光可導致照相肢片等感光破壞;
5.靜電的力學(xué)現象可導致篩孔被粉塵堵塞,紡紗線(xiàn)紛亂,印刷品深淺不均和制品污染;
靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累,而氣流的流動(dòng),氣流和管道、風(fēng)口、過(guò)濾器等摩擦,人體和衣服的摩擦,衣服之間的摩擦,工藝上的研磨,噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作,所有選些都可能產(chǎn)生靜電,在一般情況下,越是電導率小的非導體(絕緣體),由于電荷產(chǎn)生后不易流動(dòng),因此表現為越容易帶電。
靜電問(wèn)題所以在潔凈室中特別嚴重,是因為不但在潔凈室中具備前述產(chǎn)生靜電的多種工藝因素,而且因為潔凈室中的許多材料如塑料地面、墻面,尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率,都極易產(chǎn)生靜電和集聚靜電,以前在潔凈室的靜電災害未被重視。