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        0755-27992527

        技術(shù)資料

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        無(wú)塵室運轉與維護管理

        一、無(wú)塵室運轉管理

        無(wú)塵室運轉管理,可依作業(yè)人員、原物料、設備及無(wú)塵室內所用東西等加以探討,并依計劃(planning)、實(shí)施(Doing)、追蹤(Checking)、動(dòng)作(Action)之PDCA循環(huán)步驟執行。

        1.作業(yè)人員之管理

        前以提及在無(wú)塵室內污染來(lái)源80%來(lái)自作業(yè)人員,因此若能使作業(yè)人員依無(wú)塵室管理,而所有人員也均能配合實(shí)施,則污染源的產(chǎn)生可說(shuō)已減大半?,F就進(jìn)入無(wú)塵室的作業(yè)人員之管理和注意事項說(shuō)明如下:

        (1)進(jìn)入無(wú)塵室之人員,必須要具備有達成高潔凈度標準,并要維持最好狀態(tài)之觀(guān)念。

        (2)作業(yè)人員進(jìn)入無(wú)塵室數目以維持最小限度原則(愈少愈好),并須依無(wú)塵室進(jìn)出標準流程進(jìn)出無(wú)塵室,如圖3所示。出則相反方向進(jìn)行,唯不須經(jīng)空氣洗塵室之脫塵處理。

        (3)對作業(yè)人員必須經(jīng)常講解無(wú)塵室管理之數據,并加以教育與訓練,內容如無(wú)塵室管理之一般常識、無(wú)塵室之構造與功能、維護和清潔、安全對策、搬運器材之潔凈管理與檢查、潔凈衣之穿脫、無(wú)塵室內之步行方式等,并經(jīng)考試合格者方能進(jìn)入無(wú)塵室工作。

        (4)在無(wú)塵室作業(yè)人員須經(jīng)常保持自己各方面的干凈與清潔。

        (5)在無(wú)塵室內之作業(yè)人員或其它人員之移動(dòng)或動(dòng)作均為發(fā)塵源,其直接影響制程,同時(shí)亦會(huì )影響氣流之擾動(dòng),為防止與控制上述情形,基本上須注下列事項:

         a.不可在作業(yè)區域氣流之上方放置物品或做其它作業(yè)。

         b.不必要之動(dòng)作盡量避免以防止亂流發(fā)塵。

         c.與作業(yè)無(wú)關(guān)的私心談話(huà)盡量避免。

         d.為控制發(fā)塵量,人員步行及作業(yè)要靜靜地進(jìn)行。表2所示為人體在不同動(dòng)作時(shí)之發(fā)塵量。

         e.作業(yè)要在潔凈之工作柜或工作桌進(jìn)行。

         f.工具等器具須收入有蓋子之箱子或柜中,并置放一定的場(chǎng)所。

        (6)作業(yè)人員須經(jīng)常保持干凈之手,除了常洗手、剪指甲外,手并應保養,以防皮膚之剝離,男性須每天刮胡子。

        (7)潔凈衣要經(jīng)常保持著(zhù)衣之狀態(tài)。

        (8)下列所述者不能進(jìn)入無(wú)塵室:

         a.非作業(yè)人員或事先未得許可者。

         b.未照規定穿著(zhù)潔凈衣者。

         c.剛做激烈運動(dòng)流汗者。

         d.吸煙或吃東西后,尚未經(jīng)過(guò)半小時(shí)以上者。表4為吸煙和未吸煙者微塵產(chǎn)生量與時(shí)間之比較圖,由圖上很明顯可看出吸煙者所生之微塵在初期約為非吸煙者的90倍,直至30分鐘后才降至15倍,此為為何無(wú)塵室禁止吸煙人員和吸煙未滿(mǎn)30分鐘不準進(jìn)入的原因所在。故針對在無(wú)塵室作業(yè)人員之招募,若能選擇不吸煙者為對象,將可帶來(lái)甚大利益。

        表1   人體不同動(dòng)作之微塵產(chǎn)生數

          ≥0.3µm ≥0.5µm
        一般工作服 無(wú)塵服 普通作業(yè)服 無(wú)塵服
        白衣形 全覆形 白衣形 全覆形
        站立(靜姿) 543,000 151,000 13,800 339,000 113,000 5,580
        坐下(靜姿) 44,800 142,000 14,800 302,000 112,000 7,420
        腕上下 4,450,000 463,000 49,000 2,980,000 298,000 18,600
        上身前屈 3,920,000 770,000 39,200 2,240,000 538,000 24,200
        腕的自由運動(dòng) 3,470,000 572,000 52,100 2,240,000 298,000 20,600
        頭的上下運動(dòng) 1,230,000 187,000 22,100 631,000 151,000 11,000
        屈身 4,160,000 1,110,000 62,500 3,120,000 605,000 37,400
        踏步 4,240,000 1,210,000 92,100 2,800,000 861,000 44,600
        步行 5,360,000 1,290,000 157,000 2,920,000 1,010,000 56,000

        單位:每分鐘、每人

        (9)有下列健康狀態(tài)或體質(zhì)者原則上不能進(jìn)入無(wú)塵室:

         a.因日曬、濕診而皮膚有問(wèn)題者。

         b.化學(xué)纖維或有機溶劑等化學(xué)藥品有過(guò)敏性體質(zhì)者。

         c.容易出受汗者。

         d.比一般人皮膚表皮容易剝離、頭皮或體毛容易掉落者。

         e.化妝或涂口紅者。

         f.有重大精神病、神經(jīng)過(guò)敏或閉瑣恐懼者。

         g.因哮喘、咳嗽或噴嚏者及不能安靜工作者。

        但對于有下列性格的人,則最適宜進(jìn)入無(wú)塵室工作:

        a.做事細心有耐性者。

        b.勤于整理整頓,經(jīng)常自己注意身邊清潔的人。

        c.經(jīng)常留意自己之健康者。

        (10).以下之物品不能帶進(jìn)無(wú)塵室:

        a)沒(méi)有經(jīng)過(guò)清潔過(guò)程之器材、零件物品、測定器等各種物品。

        b)紙箱及未經(jīng)特別處理之記錄或筆記用紙、影印數據等。

        c)鉛筆、橡皮擦、墨水等。

        d)香煙、化妝品、衛生紙、飲食品等。

        e)作業(yè)員個(gè)人用品如打火機、寶石、裝飾品、錢(qián)包、鑰匙、手帕、小日記手冊或其它個(gè)人物品等。

        無(wú)塵室潔凈度維持之最大控制對象為作業(yè)人員,因此對于作業(yè)人員之數目、行動(dòng)狀態(tài)、進(jìn)出規則之制定與執行,提高無(wú)塵室內作業(yè)人之潔凈度意識、反復教育,均為必須,表3所示為因作業(yè)人員之動(dòng)作而產(chǎn)生污染的增加倍率。

        2.原物料、設備進(jìn)出管理

        除了人員進(jìn)出無(wú)塵室須予于規范管理外,愿物料及設備之進(jìn)出也必須經(jīng)過(guò)潔凈程序,方不至于影響無(wú)塵室之潔凈度。其進(jìn)無(wú)塵室之流程如表4所示。至于搬出則反方向而行,但不須經(jīng)潔凈程序。

        原物料及設備進(jìn)出用無(wú)塵室為無(wú)塵室等級1000或10000級之房間,工作人員于其室內清潔設備或物料時(shí)必須穿著(zhù)潔凈衣服,所使用之擦拭紙為無(wú)塵紙或不會(huì )脫落織毛之無(wú)塵布,清潔劑除了使用超純水之外,并加入3~5%濃度的IPA或丙酮化學(xué)品,以增強去污能力,由于IPA及丙酮具揮發(fā)性,故此房間之排氣效果須特別考慮。搬運設備時(shí)為免破壞地板支架及地板表面,必須事先于地板上鋪設已清潔過(guò)的不銹鋼板,作為輔助。

        無(wú)塵室內用品除了進(jìn)出無(wú)塵室用的潔凈衣、鞋、頭罩、帽、手套、口罩外,尚有如紙張文具、桌子、椅子、芯片盒、搬運車(chē)、筆記本、告示板及垃圾箱、吸塵器等。

        潔凈衣之材料以洗后或使用其它處理后仍不會(huì )發(fā)塵者為基本條件,且其布料為不易燃燒、不起毛,其織法或布料之組織不易通過(guò)污染物和不附著(zhù)污染物之材質(zhì),另外經(jīng)過(guò)磨擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常小,洗滌再生容易、不易皺、著(zhù)衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質(zhì)為無(wú)塵紙或無(wú)紡布制成,帽子材質(zhì)則與潔凈衣相同,二者在穿戴使用時(shí),除了只露出眼睛和臉表面部分外,其它部分均需包覆,在頭部部分連接上衣處也必須全蓋住,不能留有空隙,頭發(fā)亦不能露出來(lái)。無(wú)塵室用鞋要合腳且穿起來(lái)舒適為基本條件,容易洗滌,底則采用塑料底,布質(zhì)部分則采用與潔凈服相同材質(zhì)即可,鞋子穿著(zhù)時(shí)潔凈衣腳跟部分應完全塞入緊密包著(zhù)。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹(shù)脂(Viny1),在使用過(guò)程中若有不舒適感或妨礙手指觸感者則停止使用,手套表面有粉質(zhì)時(shí)須去除或停用,原則上不使用有粉之Viny1手套為佳。

        潔凈衣鞋帽子等須由專(zhuān)人管理,并定期做清洗,清洗須在無(wú)塵室內進(jìn)行。并以純水配合清潔溶劑,并經(jīng)約0.2μm之過(guò)濾器為之。一般洗滌周期視潔凈度等級而定,在高潔凈區(CLASS1)為2~3天,其它區域則為五天至一星期,洗滌完畢干燥后應立即密封。潔凈衣之置放場(chǎng)所亦須為無(wú)塵室,備用品或新品存放柜內,正使用者則吊掛衣架上,以方便取用。

        桌椅一般以不銹鋼材質(zhì),并需表面加工處理為之,若不得不使用鍍鋅品或木制品,其表面須施環(huán)氧樹(shù)脂(Epxoy)加工以防表面發(fā)塵。工作桌最好有打洞,邊緣有倒角。以利氣流之運動(dòng)。椅子盡量采用沒(méi)有背及腳踏板者,椅腳高度以坐下來(lái)腳可以觸到地板者為原則。但若一定須使用高腳椅時(shí),則要準備腳踏環(huán)。桌及椅子之腳最好安裝上塑料小輪子或套上橡膠套。

        芯片盒為放置芯片之用,材質(zhì)以選取擇不易摩損、不發(fā)塵易清潔之材質(zhì)如鐵弗(Teflon)等,至于搬運車(chē)則以構造簡(jiǎn)單為原則,并忌使用折迭式,材質(zhì)仍采用不銹鋼為宜,車(chē)輪為耐磨性高之橡膠輪胎,車(chē)輪軸承采用雙密封式滾珠軸承。推送搬運車(chē)時(shí)不得急速運推而以緩行為適。筆記本之紙質(zhì)應采用無(wú)塵紙制成者,且不得使用影印數據,若非萬(wàn)不得已須使用,則須將文件放在透明之塑料套內或加覆背,同時(shí)不可于室內撕破或將紙揉成一團,避免造成環(huán)境之污染。如表5所示為不同紙張材質(zhì)發(fā)塵量之比較。普通黑板及粉筆當然不能在高無(wú)塵室內使用,必要時(shí)可在更衣室等無(wú)塵室較低等級的區域使用白板。無(wú)塵室內不得放置清潔用具,垃圾桶宜使用塑料制品或不銹鋼,且置于維修區中的固定位置,桶須覆以蓋子,以利管制,并定期清理。

        表5 不同紙張發(fā)塵量比較(略)(實(shí)驗方法:將兩者紙張相迭,而相互磨擦時(shí)所產(chǎn)生之紙塵量小于0.5μM以上)

        真空吸塵器,其功能是在吸取無(wú)塵室內地板上、下及設備上附著(zhù)之塵?;蛞后w以防止這些塵粒之再飛揚,以達到清潔的目的,由于真空吸塵器在作業(yè)時(shí)會(huì )有排氣產(chǎn)生,若未經(jīng)處理,將嚴重影響無(wú)塵室之潔凈度和氣流,因而真空吸塵器在排氣口均裝有HEPA過(guò)濾器,以除去塵埃。唯現今之高級無(wú)塵室均設有中央式吸塵系統,并于現場(chǎng)預留吸塵口,故一般之清潔過(guò)程均利用此中央系統,以減少使用真空吸塵器時(shí)的氣流干擾,在使用中央式系統時(shí),須注意排氣旦之控制避免使無(wú)塵室內之壓力降低至規定范圍以下。至于真空吸塵器因屬無(wú)塵室內專(zhuān)用,故不可移至室外使用,若不用時(shí)應置于較低等級的無(wú)塵室中,旦每次使用后應清掃吸管、收塵箱等吸氣系統。

        二、無(wú)塵室各系統維護保養管理

        無(wú)塵室內系統除了通稱(chēng)的空調系統之外,制程設備也包括在內,本節將對該二系統之運轉維護及保養做一概略說(shuō)明。

        無(wú)塵室內之生產(chǎn)制造設備注意之重點(diǎn)有三:

        1.生產(chǎn)設備之選擇、布置與保養:

        a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設備及相關(guān)設備,尤其須注意活動(dòng)部分之發(fā)塵。

        b.應選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設備或接口設備。

        c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因,故應配備過(guò)濾裝置。

        d.規劃各設備之配置空間時(shí),事先宜考慮不易積累微塵之結構,規劃各并以容易清潔為原則。

        e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類(lèi)設備,應設置在無(wú)塵室外面或回風(fēng)區,并加裝排氣管線(xiàn)排氣。

        f.設置給水管線(xiàn)、氣體管線(xiàn)和電氣系統時(shí),其構造須考慮到容易清潔,不易積累污染物。

        g.生產(chǎn)及相關(guān)設備應定期清掃,以避免微塵之堆積。

        h.應加強注意室內的溫濕度控制,避免因濕度之不當造成結露生銹。

        i.當設備維修時(shí)易產(chǎn)生微塵粒子,故維修時(shí)盡量于清潔室外進(jìn)行,并加隔離柵隔離。

        j.對于施工或維修之廠(chǎng)商,應告知進(jìn)出無(wú)塵室之各項規定,且負責工程師應隨侍在側監工。

        k.應有無(wú)塵室專(zhuān)用工具組,但不得帶出無(wú)塵室外使用。

        l.規劃空間時(shí)若能臨近無(wú)塵室設立一間維修和設備保養手冊置放室,將是一理想之規劃。

        2.生產(chǎn)設備之防塵措施:

        a.磨損、切削均為發(fā)生微塵之原因,故需將發(fā)塵部分掩蓋之。

        b.易產(chǎn)生塵埃之設備,若能的話(huà)應布置于風(fēng)尾地點(diǎn)。

        c.在操作時(shí),盡量減少接觸零件或產(chǎn)品。

        d.不得有太大或不必要的操作動(dòng)作,以免卷起附近之灰塵。

        e.各項廠(chǎng)務(wù)設施之供應如水、氣體和化學(xué)品于進(jìn)入生產(chǎn)設備前應有過(guò)濾設備。

        f.為不使氣體或液體滯留,造成微污染,故管路配置應有旁路閥之設置。

        3.自動(dòng)化與無(wú)塵化:

        a.設立自動(dòng)化傳送系統,可減少人員方面所帶來(lái)的污染,唯費用相當昂貴,須詳加評估。

        b.建立管制項目如進(jìn)入無(wú)塵室人員的資格限定,無(wú)塵室作業(yè)人員作業(yè)規則,無(wú)塵室管理規則等,這些規則已在前面章節敘述,此處不再說(shuō)明。

        在無(wú)塵室之維護管理方面,可分三部分加以說(shuō)明:

        1.建筑物之維護管理:

        a.建筑物內定期檢查清潔。

        b.地板之清掃管理及損壞更新。

        c.隔間墻及天花板檢查清潔和封補。

        d.窗戶(hù)及門(mén)之保養等。

        2.環(huán)境測定與管理:

        無(wú)塵室內之運轉環(huán)境狀況如溫、濕度及微塵粒子數應每日定期量測,以確實(shí)掌握質(zhì)量,若有數據異常,可立即做緊急處理。

        3.防塵空調設備之維護管理:

        a.溫、濕度及塵埃濃度管理,在前面以述及,唯其量測儀器應做定期校正檢驗,若有設備移動(dòng)或施工時(shí)須做局部測量。

        b.過(guò)濾網(wǎng)之管理:定期檢查及更換,表6為各種過(guò)濾網(wǎng)之檢查及更換周期。

        c.空氣調節器管理:定期檢查隔板接縫及內部污染狀況,冷熱盤(pán)管是否有腐蝕現象。

        d.送風(fēng)機之管理:定期檢查送風(fēng)機運轉狀況。如表7所示為送風(fēng)機之各項檢查內容及周期。

        e.風(fēng)管及出風(fēng)口之管理:檢查風(fēng)管是否有腐蝕、污染、塵埃堆積或保溫脫落等。

        f.測試及量測儀器管理:定期校正及保養。

        g.室內壓力管理:連續監視室內壓力記錄,以維持正壓為基準。

        h.冷凍主機、泵浦、鍋爐及冷卻水塔之管理:定期檢查保養及記錄運轉狀況及水質(zhì)變化分析,以調整加藥量等。

        i.無(wú)塵室停止運轉再開(kāi)機要點(diǎn)管理:?jiǎn)?dòng)后立即進(jìn)行微塵粒子之測試,須無(wú)塵室恢復穩定正常時(shí)再開(kāi)始作業(yè)。表8為空調設備應檢查之項目。

        表2 各種過(guò)濾網(wǎng)更換周期

        種類(lèi) 效率 最后壓降 壓差測試頻率 出風(fēng)口塵埃測試 過(guò)濾網(wǎng)更換
        周期
        初效過(guò)濾網(wǎng) AFI25% 10mmAq 在線(xiàn)隨時(shí)測試 -- 2次/年
        中效過(guò)濾網(wǎng) NBS65~95% 25mmAq 在線(xiàn)隨時(shí)測試 -- 2次/年
        高性能
        過(guò)濾網(wǎng)
        D.O.P.99.97%
        0.3mμ
        50mmAq 在線(xiàn)隨時(shí)測試 1次/月 1年/次
        超高性能
        過(guò)濾網(wǎng)
        D.O.P.99.99995%
        0.1mμ
        50mmAq 在線(xiàn)隨時(shí)測試 1次/月 5~10年

        備注:出風(fēng)口塵埃測試系在送風(fēng)管或出風(fēng)口附近進(jìn)行。

        表3 送風(fēng)機之各項檢查及周期

        檢查項目 周期 檢查要點(diǎn)或標準
        運轉狀況 1次/日以上 是否有不正常震動(dòng)或其它異?,F象及異音等
        皮帶之松緊度 1次/日以上 有無(wú)松弛或滑動(dòng)聲音
        軸承之潤滑油 1次/半年以上 補充潤滑油以舊油脂排出為止
        基礎固定螺絲 1次/半年以上 檢查固定螺絲有無(wú)松動(dòng)
        馬達之絕緣測試 1次/半年以上 電壓值3000V時(shí)---3MΩ
        電壓值200V時(shí)---0.2MΩ
         

        表4 表示微粒(µm)以上之粒徑之每單位立方尺之粒子數上限值 

        CLASS 測試微粒(µm)
        0.1 0.2 0.3 0.5 5.0
        1 35 7.5 3 1 NA
        10 350 75 30 10 NA
        100 NA 750 300 100 NA
        1,000 NA NA NA 1,000 7
        10,000 NA NA NA 10,000 70
        100,000 NA NA NA 100,000 700
         
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